設(shè)備介紹
標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [20型]
CRYO-U20P
日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U20P維修特點
適用于大型成膜裝置以及批量式大型成膜裝置等大型生產(chǎn)裝置。
外形尺寸 (單位:mm)
日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U20P維修標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
排氣速度(20℃)  | 氮氣  | L/s  | 10,000  | 
氫氣  | 18,000  | ||
氬氣  | 8,400  | ||
水  | 29,000  | ||
到達壓力  | Pa(Torr)  | 10-7(10-9)  | |
大流量  | 氬氣  | Pa?L/s(Torr?L/s)  | 1.1×103(8.7)  | 
氫氣  | 5.0×102(3.7)  | ||
排氣容量  | 氬氣  | Pa?L(Torr?L)  | 5.8×108(4.4×106)  | 
氫氣  | 4.6×106(3.4×104)  | ||
冷卻降下時間  | min(Hz)  | 180/160(50/60)  | |
吸氣口法蘭  | UVG-500  | ||
壓縮機裝置  | C30VR  | ||
質(zhì)量  | Kg  | 69.0  | |
*維護間隔:16,000小時
標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [20型]
CRYO-U20H
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
排氣速度(20℃)  | 氮氣  | L/s  | 10,000  | 
氫氣  | 18,000  | ||
氬氣  | 8,400  | ||
水  | 29,000  | ||
到達壓力  | Pa(Torr)  | 10-7(10-9)  | |
大流量  | 氬氣  | Pa?L/s(Torr?L/s)  | 1.7×103(12.8)  | 
氫氣  | 5.0×102(3.7)  | ||
排氣容量  | 氬氣  | Pa?L(Torr?L)  | 5.8×108(4.4×106)  | 
氫氣  | 4.6×106(3.4×104)  | ||
冷卻下降時間  | min(Hz)  | 160/140(50/60)  | |
吸氣口法蘭  | UVG-500,20BANSI,ISO-500  | ||
壓縮機裝置  | C30PVRT  | ||
質(zhì)量  | Kg  | 72.0  | |
*維護間隔:16,000小時
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江
日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修
常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安
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如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州
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紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海
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廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶
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荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林
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濟南青島威海德州連云港昆明九江安慶
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            昆山熙日機械設(shè)備有限公司
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